雷射干涉儀(單光束/雙光束/三光束)

產品功能及特性:
1. 最高的歐盟量測標準
2. 光纖耦合的傳感測頭技術
3. 同時具有長度和角度測量的最高精度
4. 高度穩頻He-Ne雷射作爲長度基準
5. 環境因素引起的雷射波長變化進行修正
6. 高精度振動分析和長度測量系統

SP-NG 雷射干涉儀
1. 量測範圍 : 0-80 M，解析度 : 0.5 nm
2. 靈活、超精確的長度測量系統
3. 現代工業防濺水設計
4. 單光束測量原理可大幅度減少阿貝Abbe誤差
5. 緊湊的結構方便現場使用

SP-DI 雙光束雷射量測儀
1. 量測範圍 : 0-5 M/12度，解析度 : 0.5 nm/0.001 arcsec
2. 雙光束差異長度和角度測量，可達最高的準確性
3. 感測器頭以鋁合金或不鏽鋼為結構
4. 長期量測穩定性高
5. 差分測量可將環境影響降至最低

SP 5000 TR 三光束雷射量測儀
1. 量測範圍 : 0-5 M/12度，解析度 : 2 nm/0.002 arcsec
2. 同時測量長度、pitch和yaw角度
3. 快速易用的 DIN ISO 230-1 角度量測軟體和軸的直度測量
4. 快速顯示結果的校準軟體
5. 根據阿貝Abbe偏移量校正測量誤差

SP 15000 C6自由度雷射量測系統
1. 量測範圍 : 0-15 M/ 5度，解析度: 2 nm/ 0.0004 arcsec
2. 同步、連續6 DOF自由度測量長度、pitch和yaw角度以及直度
3. 單軸直度的水平和垂直元件由可旋轉光學元件做測量。
4. 採用標準校準及量測分析軟體
5. 通過集成光束方向檢測輕鬆處理和調整光路對位

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