1-2秒內讓您取得微奈米表面形貌！讓您快速且精準獲取3D表面輪廓，粗糙度的檢測利器!

新一代先進快速白光干涉儀

• 量測速度極快，較不受環境振動影響，適合線上檢測
• 適用於:LCD、LED、Micro lens、MEMS等微結構表面形狀參數研究。
• 量測項目: 2D/3D表面輪廓、粗糙度、段差、平面度、磨耗體積等微結構表面參數量測。
• 全自動量測，並有自動擬合接合功能，擴大量測面積的縫合圖形觀察。
• 各鏡頭垂直量測解析度：≦0.1nm；量測範圍:數nm到400um。
• 量測視野大，相機解析度高，量測結果細緻且準確。
• 採用GPU浮點運算技術，量測速度快且品質佳。
• 業界公認的分析軟體，符合國際標準並可預作量測範本便於線上使用。